कोड# | 523-180क्यू |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1800*1200) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
XY अक्ष सटीकता | ≤3.5+L/200 ((um) |
कोड# | 502-120जी |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
आयाम (डब्ल्यूएक्सडीएक्सएच) | (1237*740*1664)मिमी |
वजन | 380 किग्रा |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
कोड# | 522-180एच |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |