कोड# | 521-120जी |
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संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248)मिमी |
एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
कोड# | 523-180क्यू |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1800*1200) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
XY अक्ष सटीकता | ≤3.5+L/200 ((um) |