| कोड# | 512-400 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 455x126मिमी |
| कार्य मंच यात्रा | 300x150 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 120 मिमी |
| सटीकता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 512-400 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 455x126मिमी |
| कार्य मंच यात्रा | 300x150 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 120 मिमी |
| सटीकता | ≤3+एल/200(उम) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| कोड# | 511-410 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 200x100 मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 511-330 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 258x308मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 148x206 मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 150x100मिमी |
| उत्पाद आयाम | 988x563x1157मिमी |
| कोड# | 510-340 |
|---|---|
| एलसीडी स्क्रीन आकार | 115मिमी×85मिमी |
| एलसीडी स्क्रीन रिज़ॉल्यूशन | 640*480 |
| एक्सिस प्रदर्शित करें | 3-अक्ष (X,Y,Z/Q) |
| रैखिक स्केल संकल्प | 0.1um,0.2um,0.5um, 1um,2um,5um |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
