| कोड# | 525-020डी |
|---|---|
| ग्रेनाइट कार्यक्षेत्र | (310*220)मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (179.5*129.5)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (150*100)मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 100 मिमी |
| कोड# | 525-020dp |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (310*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (179.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (१५०*१००) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 525-120H |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (605*450) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 525-320H |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (605*450) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 525-120जी |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (५०५*३५०) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 525-020डी |
|---|---|
| ग्रेनाइट कार्यक्षेत्र | (310*220)मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (179.5*129.5)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (150*100)मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 100 मिमी |
| कोड# | 529-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (310*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (179.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (१५०*१००) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 521-420जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 524-120एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| repeatability | 2um |
