| कोड# | 529-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| कोड# | 523-220एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |
| कोड# | 522-180एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-280G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 521-420जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 521-320एच |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (608*470) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 500-030 |
|---|---|
| लेंस | 0.3X डबल टेलीसेंट्रिक लेंस |
| काम करने की दूरी | 110 मिमी |
| विस्तृत क्षेत्र | Ø 30मिमी(28x24) |
| माप की सटीकता | ±2उम |
