| कोड# | 523-180आर |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (2600*1600)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤4.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 522-180एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-280G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-380J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*800)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 523-280एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 525-180एन |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*1000)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 522-420जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 523-280के |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (600*500) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-480एल |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (800*600)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
