| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 525-180एन |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*1000)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 521-120जी |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 525-180एक्स |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*1600) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 522-120जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | ५२२-१२०एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 522-420जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
