| कोड# | 522-180J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-280G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-280के |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (600*500) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-480एल |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (800*600)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-280एल |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (800*600)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1500*1200)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤3.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 500-080 |
|---|---|
| लेंस | 0.088X डबल टेलीसेंट्रिक लेंस |
| काम करने की दूरी | 120 मिमी |
| विस्तृत क्षेत्र | Ø116मिमी(94x76) |
| माप की सटीकता | ±4um |
| यात्रा की सीमा(मिमी) | 600*800*600 |
|---|---|
| मापे गए कार्य-वस्तु का अधिकतम भार | 300 किलो |
| मशीन वजन | 730 किग्रा |
| 3D अधिकतम गति (मिमी/सेकंड) | 520 |
| 3D अधिकतम त्वरण (मिमी/से²) | 1730 |
| 3D अधिकतम गति | 520 मिमी / एस |
|---|---|
| 3D अधिकतम त्वरण | 1730मिमी/सेकेंड |
| यात्रा की सीमा(मिमी) | 600*900*600 |
| आयाम (मिमी) | 991*1488*2610 |
| मापे गए कार्य-वस्तु का अधिकतम भार | 300 किलो |
