| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 521-120जी |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-320F |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (408*308) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (306*198)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (250*150) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-420E |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (270*350) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (142*242)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-420जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-320जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | ५२२-१२०एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
