| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*800)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1500*1200)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤3.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 521-320जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 500-080 |
|---|---|
| लेंस | 0.088X डबल टेलीसेंट्रिक लेंस |
| कार्यक्षेत्र | 120 मिमी |
| विस्तृत क्षेत्र | Ø116मिमी(94x76) |
| मापन सटीकता | ±4um |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 522-120जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 521-320एच |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (608*470) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 522-420जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
