| कोड# | 511-410 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 200x100 मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 522-120जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | ५२२-१२०एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-180J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-280G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-420जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |
