| कोड# | 525-020EP |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (390*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (229.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 525-020dp |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (310*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (179.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (१५०*१००) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 512-350 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 355x126मिमी |
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 200x100 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 90 मिमी |
| शुद्धता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 511-330 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 258x308मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 148x206 मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 150x100मिमी |
| उत्पाद का आयाम | 988x563x1157मिमी |
| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद का आयाम | 1003x617x1309मिमी |
| कोड# | 510-340 |
|---|---|
| एलसीडी स्क्रीन आकार | 115मिमी×85मिमी |
| एलसीडी स्क्रीन रिज़ॉल्यूशन | 640*480 |
| एक्सिस प्रदर्शित करें | 3-अक्ष (X,Y,Z/Q) |
| रैखिक मान संकल्प | 0.1um,0.2um,0.5um, 1um,2um,5um |
| कोड# | 511-340 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 258x358मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 148x256मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 200x100 मिमी |
| उत्पाद का आयाम | 988x563x1157मिमी |
| कोड# | 512-400 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 455x126मिमी |
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 300x150 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 120 मिमी |
| शुद्धता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 512-350 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 355x126मिमी |
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 200x100 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 90 मिमी |
| शुद्धता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
