| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट स्टेज | (310*220) मिमी |
| ग्लास स्टेज | (179.5*129.5) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (150*100) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| कोड# | 512-400 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 455x126मिमी |
| कार्य मंच यात्रा | 300x150 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 120 मिमी |
| सटीकता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 512-350 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 355x126मिमी |
| कार्य मंच यात्रा | 200x100 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 90 मिमी |
| सटीकता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 511-330 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 258x308मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 148x206 मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 150x100मिमी |
| उत्पाद आयाम | 988x563x1157मिमी |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य मंच यात्रा | 355x125मिमी |
| एक्स/वाई-अक्ष यात्रा | 200x120मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| माप की सटीकता | ≤3+एल/200um |
| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद आयाम | 1003x617x1309मिमी |
