कोड# | 521-420जे |
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संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
कोड# | 525-380के |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*500)मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |