कोड# | 521-120जी |
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संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248)मिमी |
एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
कोड# | 542-310 |
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कार्य मंच यात्रा | 355x125मिमी |
एक्स/वाई-अक्ष यात्रा | 200x120मिमी |
जेड अक्ष | 110 मिमी |
माप की सटीकता | ≤3+एल/200um |