| कोड# | 523-280N |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1200*1000) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| कोड# | 521-120जी |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-320F |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (408*308) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (306*198)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (250*150) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-420E |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (270*350) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (142*242)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-320एच |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (608*470) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 521-320जे |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (650*580) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (540*440) मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
