| कोड# | 502-120एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| आयाम (डब्ल्यूएक्सडीएक्सएच) | (1337*840*1664)मिमी |
| वज़न | 600 किलोग्राम |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 520-020 |
|---|---|
| कार्यक्षेत्र | (245x180)मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (130x130)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (100*100)मिमी |
| X/Y अक्ष रिज़ॉल्यूशन | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 525-120H |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (605*450) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 525-020डी |
|---|---|
| ग्रेनाइट कार्यक्षेत्र | (310*220)मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (179.5*129.5)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (150*100)मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 100 मिमी |
| कोड# | 525-320H |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (605*450) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 525-020डी |
|---|---|
| ग्रेनाइट कार्यक्षेत्र | (310*220)मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (179.5*129.5)मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (150*100)मिमी |
| जेड अक्ष यात्रा | 100 मिमी |
| कोड# | 500-080 |
|---|---|
| लेंस | 0.088X डबल टेलीसेंट्रिक लेंस |
| कार्यक्षेत्र | 120 मिमी |
| विस्तृत क्षेत्र | Ø116मिमी(94x76) |
| मापन सटीकता | ±4um |
| कोड# | 523-220एच |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| repeatability | 2um |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| repeatability | 2um |
