| कोड# | 521-320एच |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (608*470) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |