| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 525-380के |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*500)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| repeatability | 2um |
| कोड# | 529-120J |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*400)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤3.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 529-120H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤3.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 529-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| कोड# | 525-020EP |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (390*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (229.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 511-420 |
|---|---|
| धातु मंच का आकार | 308x408मिमी |
| ग्लास स्टेज आकार | 198x306मिमी |
| स्टेज यात्रा रेंज | 250x150मिमी |
| उत्पाद का आयाम | 1003x617x1309मिमी |
