| कोड# | 522-280G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 522-420जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | 0.5 उम |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |
| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |
