| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |
| कोड# | 525-180एन |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*1000)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 525-180एक्स |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*1600) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 525-380के |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*500)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
