कोड# | 523-280N |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1200*1000) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
कोड# | 521-320एच |
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संगमरमर कार्यक्षेत्र | (608*470) मिमी |
ग्लास कार्यक्षेत्र | (456*348)मिमी |
एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |