| कोड# | 521-120जी |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (458*358) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (356*248)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 525-180एक्स |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*1600) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 एमएम |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |