| कोड# | 523-280एल |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (800*600)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤1.8+एल/200(um) |
| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1000*800)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.0+एल/200(um) |
| कोड# | 525-380के |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (500*500)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 300 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक स्केल | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| मार्गदर्शन मोड | परिशुद्ध रैखिक गाइड रेल |
| कोड# | 523-180M |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1500*1200)मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤3.0+एल/200(यूएम) |
| कोड# | 523-280N |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (1200*1000) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| एक्स/वाई/जेड अक्ष रैखिक पैमाने | रिज़ॉल्यूशन: 0.1um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
