| कोड# | 521-420E |
|---|---|
| संगमरमर कार्यक्षेत्र | (270*350) मिमी |
| ग्लास कार्यक्षेत्र | (142*242)मिमी |
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
| कोड# | 524-220H |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| पुनरावृत्ति | 2um |