कोड# | 521-420E |
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संगमरमर कार्यक्षेत्र | (270*350) मिमी |
ग्लास कार्यक्षेत्र | (142*242)मिमी |
एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | प्रभावी यात्रा 200 मिमी |
कोड# | 524-220H |
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एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (400 * 300) मिमी |
जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
पुनरावृत्ति | 2um |