| कोड# | 525-020EP |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (390*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (229.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (200*100) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 529-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | संकल्प: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |
| कोड# | 502-120जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| आयाम (डब्ल्यूएक्सडीएक्सएच) | (1237*740*1664)मिमी |
| वज़न | 380 किग्रा |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |