| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| कोड# | 502-120जी |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| आयाम (डब्ल्यूएक्सडीएक्सएच) | (1237*740*1664)मिमी |
| वजन | 380 किग्रा |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| कोड# | 529-120G |
|---|---|
| एक्स/वाई अक्ष यात्रा | (300*200) मिमी |
| जेड एक्सिस यात्रा | 200 मिमी |
| X/Y/Z 3 अक्ष रैखिक स्केल (मिमी) | रिज़ॉल्यूशन: 0.5um |
| XY अक्ष सटीकता | ≤2.5+एल/200(um) |