| कोड# | 525-020dp |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (310*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (179.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (१५०*१००) मिमी |
| रैखिक तराजू | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 525-020P |
|---|---|
| ग्रेनाइट चरण | (310*220) मिमी |
| कांच की अवस्था | (179.5*129.5) मिमी |
| X/y अक्ष यात्रा | (१५०*१००) मिमी |
| X/Y रैखिक स्केल | संकल्प: 0.5um |
| कोड# | 512-350 |
|---|---|
| कार्य मंच का आकार | 355x126मिमी |
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 200x100 मिमी |
| ध्यान केंद्रित | 90 मिमी |
| शुद्धता | ≤3+एल/200(उम) |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |
| कोड# | 542-310 |
|---|---|
| कार्य -स्तर पर यात्रा | 355x125 मिमी |
| X/y- अक्ष यात्रा | 200x120 मिमी |
| जेड अक्ष | 110 मिमी |
| मापन सटीकता | ≤3+l/200um |